實用潔凈室的構造形式
實用潔凈室主要是根據(jù)工藝特點進行布置，在滿足使用要求的前提下求得經(jīng)濟合理，當然不外乎以上四種類型的潔凈室進行組合。已有典型的構造形式如下：
（1）開放式
大面積的單向或非單向流潔凈室。常用于工藝過程對各潔凈區(qū)要求的潔凈度差別不大的，其特點是：
①優(yōu)點：靈活性好，便于調整和變更，設計簡單，空氣處理系統(tǒng)單一。
②缺點：高運行費用，對大面積的單向流，其回風通道所占面積/空間大;防火分隔受限制，安全性差。
（2）套間式
各潔凈區(qū)按工作的工序及潔凈度要求進行分隔及連通，并進行各區(qū)間的壓差控制，多用于制藥工業(yè)手術部，亦常把此歸入開放式內(nèi)。
（3）隧道式
是IC工廠潔凈室在80年代末90年代初常較多采用一種形式，是以“線”保護替代“面”保護的典型代表。它有二種基本形式：一是把各有關工藝設備的關鍵加工部位（即加工物暴露于周圍空氣中的部位）與設備的服務部位加以物理分隔，一般各設備的關鍵加工部位都面對布置，置于單向流潔凈區(qū)（潔凈隧道內(nèi)），而設備的服務部位置于要求不嚴的非單向流潔凈區(qū)內(nèi)，以實現(xiàn)減少單向流潔凈區(qū)的面積；另一種形式是把各工藝設備的關鍵加工部位置于非單向流潔凈隧道的罩流層下，其它都同前。其特點是：
①優(yōu)點：把單向流潔凈區(qū)限制到zui?。粶p少循環(huán)風量節(jié)省運行費用;潔凈隧道的回風可回至設備服務區(qū)，此區(qū)可作為回風道向上回風，防火分隔簡單，運行安全。
②缺點：設計時需要仔細，較麻煩，靈活性差。
（4）微環(huán)境/隔離裝置+開放式潔凈室
這種形式當前制藥工業(yè)已采用較普遍，根據(jù)導投資可節(jié)省10~15%，運行費用可望節(jié)約40~50%。在IC工廠采用這種形式與其它形式就潔凈室設施的投資及運行費用而言，肯定是經(jīng)濟的，但帶來微環(huán)境的工藝設備以及自動傳送系統(tǒng)等投資的增加等，其綜合經(jīng)濟效果如何，存在著不同看法，如亞洲、歐洲采用得較多，而美國則很少采用。由于潔凈室潔凈度要求的降低，隨之帶來潔凈服系統(tǒng)等要求降低而節(jié)省購買費及清洗等費用亦是可觀的。
（5）模塊式潔凈室
模塊式潔凈室近10年來發(fā)展亦快，隨著FFU的發(fā)展，對模塊式潔凈室靈活、方便性更加體現(xiàn)，一般一天可以安裝完成。模塊式潔凈室一般適宜用于空調參數(shù)與所處背景環(huán)境基本一致的場合，它的墻、天花等都不用另加保溫材料，目前情況是：滿足潔凈度等級ISO4級及以上；可視的即透明的聚丙烯墻板或消靜電的PVC材料兩種材料。
潔凈室形式的變化都是伴隨工藝發(fā)展和變化現(xiàn)的，以上各種形式，各適用于一定的條件及要求。以IC工廠的潔凈隧道與開放式潔凈室為例，在某些規(guī)模及要求下，開放式的亦還有采用的。