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潔凈室施工-特種設(shè)施的安裝(高純氣、特種氣體供應(yīng)設(shè)施的安裝)

更新時間:2016-09-20  |  點擊率:1426

1、管路系統(tǒng)的試運轉(zhuǎn)應(yīng)包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。
2、高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施安裝前,應(yīng)按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書或合約的要求,檢查設(shè)備(包括填充的純化材料等)、閥門和管件的完整性、密封性,并作檢查記錄。
3、純化設(shè)備、特氣柜的搬運、就位應(yīng)符合下列規(guī)定:
(1) 搬入潔凈室(區(qū))前,應(yīng)進行認(rèn)真的清潔,符合要求后從規(guī)定的設(shè)備搬入口運入;
(2) 整體設(shè)備搬運時,應(yīng)按設(shè)備的構(gòu)造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運輸,不得倒置,并可靠固定;
(3)設(shè)備就位時,應(yīng)按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書要求,準(zhǔn)確做好接管、接線定位;
(4)就位后,水、電接口應(yīng)按工程設(shè)計文件要求連接;
(5)氣體管道接口,應(yīng)在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運轉(zhuǎn)合格后才能連接。
4、高純氣體、特種氣體系統(tǒng)的閥門箱、吹掃盤的安裝,應(yīng)符合下列要求:
(1)檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等,并作好記錄;
(2)安裝位置應(yīng)按工程設(shè)計文件、產(chǎn)品說明書要求進行,并檢查接管、接線方位的正確性;
(3)氣體管道接口,應(yīng)在所在系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合格后才能連接。
5、高純氣體、特種氣體設(shè)施施工安裝試運轉(zhuǎn)的純度測試,應(yīng)符合下列要求:
(1)純度測試介質(zhì),宜采用工作氣體進行;
(2)測試氣體的壓力,宜與輸送介質(zhì)的設(shè)計壓力相同;
(3)測試氣體的檢測取樣口或排氣接口,應(yīng)設(shè)在供氣系統(tǒng)中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量zui嚴(yán)格且距離zui長的用氣設(shè)備處;
(4)純度測試過程,取樣時間的間隔宜為4h左右;氣體樣品應(yīng)采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應(yīng)的精度等級的儀器進行分析;
(5)當(dāng)測試氣體的進、出口的純度及其雜質(zhì)含量(一般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代表)一致時,即認(rèn)為純度測試合格。
6、管路系統(tǒng)的試驗應(yīng)符合下列要求:
(1)高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施的強度試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及試驗壓力,均應(yīng)按工程設(shè)計文件要求;
(2)試驗氣體宜采用無油干燥壓縮空氣或純氮或氦氣;試驗氣體壓力按規(guī)定逐步升至系統(tǒng)強度試驗壓力后,保持10min,然后降壓至氣密性試驗壓力,檢查接口、焊縫是否泄漏,以不漏為合格;
(3)氣密性試驗合格后,進行泄漏量試驗,試驗氣體為純氮或無油干燥壓縮空氣時,系統(tǒng)以設(shè)計壓力保持24h,檢查泄漏率不超過0.5%為合格。采用氦氣為試驗氣體時,系統(tǒng)以設(shè)計壓力保持1h,檢查泄漏率不超過0.5%為合格。若不合格,檢查原因并進行完善后,再進行泄漏量試驗,直至合格為止;
(4)管路系統(tǒng)的試驗,一般均不包含純化設(shè)備、特氣柜和閥門箱等。
7、管路吹掃應(yīng)符合下列要求:
(1)應(yīng)按氣體品種、工作參數(shù)分系統(tǒng)分別進行吹掃;
(2)管路系統(tǒng)應(yīng)采用0.3.0.5MPa的無油干燥壓縮空氣或純氮進行吹掃,吹掃氣體應(yīng)設(shè)置過濾精度嚴(yán)于0.31tm氣體過濾器去除微粒;對輸送可燃?xì)怏w的管路宜采用純氮吹掃;
(3)在管路系統(tǒng)吹掃氣體排出口設(shè)靶檢查,以靶上未見微粒為合格;對輸送可燃?xì)怏w的管路系統(tǒng),應(yīng)以排出口吹掃氣體中含氧量小于1%為合格。

 

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